1.光源大小和空间相干性
2.光源的单色性和时间相干性
3.杂散光的影响
平行光在标准参考平板的上表面和被测件的下表面都会反射一部分光而形成非期望的杂散光。由于激光的相干性能非常好，这些杂散光叠加到干涉场上会产生寄生条纹和背景光，影响条纹的对比度。
*消除该杂散光的主要措施是:
将标准参考平板做成楔形板，以使标准平板上表面反射回来的光线不能进入干涉场;
同样，将被测件做成楔形板或在它的背面涂抹油脂，也能消除或减小被测件下表面产生的杂散光影响;整个系统的所有光学面上均应镀增透膜。
4.标准参考平板的影响
标准参考平板参考面在干涉仪中是作为测量基准用的，主要要求是: 面形误差小;口径必须大于被测件。当标准平板口径大于200mm时，其加工和检验都很困难。
为了保证参考平面面形精度：
（1）严格控制加工过程
（2）材料的线膨胀系数较小、残余应力很小
（3）安装时使之不产生装夹应力;
（4）在高质量平面 (如标准参考平面) 的面形测量中，可以考虑用液体的表面作为参考平面。