ZERNIKE提供干涉仪平面标准镜和球面标准镜,平面标准镜包含平面透射标准镜和平面反射标准镜。 有效口径有150mm,100mm,60mm,30mm,标准镜与Zygo 、富士通通用。

标准镜技术参数
 型号
有效口径
材料
精度 (λ=632.8nm)
ZK-150-TF
150mm
熔石英 (Corning 7980)
PV<λ/20
ZK-100-RF
100 mm
熔石英 (Corning 7980)
PV<λ/20
ZK-60-RF
60mm
熔石英 (Corning 7980)
PV<λ/20
ZK-30-RF
30mm
熔石英 (Corning 7980)
PV<λ/20