ZERNIKE提供干涉仪平面标准镜和球面标准镜,平面标准镜包含平面透射标准镜和平面反射标准镜。 有效口径有150mm,100mm,60mm,30mm,标准镜与Zygo 、富士通通用。
标准镜技术参数
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型号
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有效口径
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材料
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精度 (λ=632.8nm)
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ZK-150-TF
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150mm
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/20
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ZK-100-RF
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100 mm
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/20
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ZK-60-RF
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60mm
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/20
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ZK-30-RF
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30mm
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/20
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